HOME > 口頭発表 > 書誌詳細酸化中のシリコン表面のストレス測定(Stress measurements of the silicon surface during oxidation )北島 正弘, 板倉 明子, 成島哲也, 成島哲也. 第18回表面科学ヨーロッパ会議. 1999年09月21日-1999年09月24日.NIMS著者板倉 明子Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 04:08:28 +0900更新時刻: 2017-07-10 17:58:27 +0900