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著者名北島 正弘, 板倉 明子, 成島哲也.
タイトル酸化中のシリコン表面のストレス測定
(Stress measurements of the silicon surface during oxidation )
会議名第18回表面科学ヨーロッパ会議
発表年1999
言語unknown
外部での文献参照

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