In-situ DLTS measurement of metastable coupling between proton-induced defects and impurities in n-si
(n-si中の不純物と陽子線照射による欠陥の準安定結合のその場DLTS測定)
MRS 1997 Fall Meeting. 1997年12月01日-1997年12月05日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:21:48 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:45:39 +0900