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著者名北澤 佑記, 堀口 竜麻, 小平 竜太郎, JEVASUWAN Wipakorn, FUKATA Naoki, 原 真二郎.
タイトルVLS法によるSiナノワイヤの成長方向のシランガス分圧依存性評価
(SiH4 Partial Pressure Dependence of Si Nanowire Orientation by VLS Method)
会議名The 80th Autumn Meeting 2019
発表年2019
言語Japanese
外部での文献参照

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