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著者名関口 隆史, 陳 君.
タイトル電子線誘起電流(EBIC)法による半導体材料・素子の評価
(Electron-Beam-Induced Current (EBIC) Study of Semiconducting Materials and Devices)
会議名第29回 LSIテスティングシンポジウム
発表年2009
言語Japanese
外部での文献参照

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