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AE計測および熱応力解析による SPS成膜中のき裂発生機構の評価

著者米田直晃, 伊藤 海太, 榎 学, シャオロン チェン, 荒木 弘, 黒田 聖治.
会議名日本金属学会 2016年春季大会
発表年2016
言語Japanese

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