HOME > 口頭発表 > 書誌詳細AE計測および熱応力解析によるSPS成膜中のき裂発生機構の評価米田直晃, 伊藤 海太, 榎 学, シャオロン チェン, 荒木 弘, 黒田 聖治. 日本金属学会 2016年春季大会. 2016.NIMS著者伊藤 海太シャオロン チェンMaterials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-01-08 03:32:50 +0900 更新時刻 :2017-07-10 22:24:09 +0900