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AE計測および熱応力解析によるSPS成膜中のき裂発生機構の評価

米田直晃, 伊藤 海太, 榎 学, シャオロン チェン, 荒木 弘, 黒田 聖治.
日本金属学会 2016年春季大会. 2016.

NIMS author(s)

Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)

    Created at: 2017-01-08 03:32:50 +0900Updated at: 2017-07-10 22:24:09 +0900

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