Optimization of AlN growth conditions to improve the crystallinity of nonpolar AlN growth on Si (100) substrate
MANA INTERNATIONAL SYMPOSIUM 2021. 2021年03月02日-2021年03月03日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2021-08-07 03:00:26 +0900 更新時刻: 2021-08-07 03:00:26 +0900