イオン注入およびイオン注入熱酸化法でSiO2中に形成したZnおよびZnOナノ粒子
(ZnO and Zn nanoparticles in SiO2 fabricated by ion implantation combined with thermal oxidation)
14th International conference on surface modification of materia. 2005.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:04:58 +0900更新時刻: 2018-05-30 19:30:56 +0900