酸化亜鉛薄膜への硫黄のイオン注入と拡散に伴う損傷の回復
(The recovery of damages induced by S implantation in ZnO thin film)
日本応用物理学会秋期大会. 2002年09月24日-2002年09月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:53:03 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:32:14 +0900