Growth of deep UV luminous hexagonal boron nitride by annealing after low temperature chemical vapor phase deposition
(低温CVD後のアニールによる紫外発光性六方晶窒化ホウ素の成長)
第27回電子材料シンポジウム. 2008.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:02:46 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:15:20 +0900