高濃度リンドープn型ダイヤモンド薄膜の作製と電気特性評価
(Growth of heavily phosphorus doped diamond thin films and their electrical characteristics)
第30回ダイヤモンドシンポジウム. 2016年11月16日-2016年11月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:17:09 +0900 更新時刻: 2017-07-10 22:29:23 +0900