紫外レーザCVDにより作製したSiC膜の結晶性.
(Crystallization of SiC Film Prepared by UV Laser CVD.)
日本金属学会. 1991年10月01日-1991年10月03日.
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作成時刻: 2017-02-18 00:22:35 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:12:18 +0900