Si基板上に作製したTi-Niスパッタ膜の形状記憶特性
(Shape Memory Behavior of Ti-Ni thin film sputter-deposited on Si substrates)
表面技術協会第１０２回講演大会. 2000年09月28日-2000年09月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:42:27 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:06:05 +0900