極高真空空間における磁気浮上搬送による真空装置間基板受け渡しシステムの開発
(Substrate delivery system among vacuum instruments in an extreme high vacuum with magnetic levitation transport)
全米真空学会. 1997年10月20日-1997年10月24日.
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作成時刻: 2017-02-18 01:21:46 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:45:16 +0900