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無酸素Pd/Tiを利用した非蒸発型ゲッターコーティングの  電子顕微鏡観察と剥離耐性評価

著者宮澤 徹也, 菊池 貴司, 土佐 正弘, 笠原 章, 橋本 綾子, 山中 操, 間瀬 一彦.
会議名VACUUM2019真空展
発表年2019
言語Japanese

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