PドープSiナノ細線中の欠陥の水素・酸素による不活性化とドナー濃度制御
(Passivation of defects and doping control in silicon nanowires by hydrogen and oxygen treatments)
2006年秋季第67回応用物理学会学術講演会. 2006.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:45:51 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:39:24 +0900