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マイクロ電子ビーム蒸着法による金属蒸着
(Metal evapotation using micro e-beam evaporator)

著者キム テヨン, 吉武 道子, 柳生 進二郎, ネムシャク スラボミール, 知京 豊裕.
会議名第50回真空に関する連合講演会
発表年2009
言語Japanese

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