種結晶を用いて作製したシリコン基板中の結晶欠陥に関する評価(2)
(Evaluation of crystalline defect in silicon substrate grown by seeding cast technique)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:20:12 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:11:39 +0900