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著者名立花福久, 鮫島崇, 小島拓人, 新船幸二, 柿本浩一, 宮村 佳児, 原田 博文, 関口 隆史, 大下祥雄, 小椋厚志.
タイトル種結晶を用いて作製したシリコン基板中の結晶欠陥に関する評価(2)
(Evaluation of crystalline defect in silicon substrate grown by seeding cast technique)
会議名応用物理学会学術講演会
発表年2011
言語Japanese
外部での文献参照

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