GaAs超格子試料のAESスパッタ深さ分析における深さ分解能パラメータ
(Investigation of Depth Resolution Parameters in Auger Electron Spectroscopy Sputter Depth Profiling of GaAs/AlAs Superlattice under Different Experimental Conditions)
第３６回表面科学学術講演会（2016年真空•表面科学合同講演会. 2016.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:46:14 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:28:08 +0900