コンビナトリアルスパッタ法を用いたZnOコーティング膜の
(Crystal orientation control of ZnO thin films by combinatorial coating method)
2003年度実用表面分析講演会(PSA-03）. 2003年11月17日-2003年11月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:12:53 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:51:58 +0900