コンビナトリアルスパッタ装置の開発と酸化銅低摩擦コーティング膜の作製
(Development of combinatorial sputter coating system and fabrication of low frictional CuO coating films.)
トライボロジー会議2003秋. 2003年11月11日-2003年11月13日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:32:30 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:46:38 +0900