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Effect of Reactive Gas Condition on Nonpolar AlN Film Growth on MnS/Si(100) by Reactive DC Sputtering

MORITA, Masaya, 石橋啓次, 高橋健一郎, UEDA, Shigenori, CHIKYO, Toyohiro, 小椋厚志, NAGATA, Takahiro.
2021 International Conference on Solid State Devices and Materials. 2021年09月06日-2021年09月09日.

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    作成時刻: 2023-04-10 17:34:41 +0900更新時刻: 2023-04-10 17:34:41 +0900

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