Effect of Reactive Gas Condition on Nonpolar AlN Film Growth on MnS/Si(100) by Reactive DC Sputtering
2021 International Conference on Solid State Devices and Materials. 2021年09月06日-2021年09月09日.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-04-10 17:34:41 +0900 更新時刻: 2023-04-10 17:34:41 +0900