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著者名佐藤 守夫, 小川 一行, 山田 圭, 石田 章.
タイトル(Ni,Cu)過剰側Ti-Ni-Cuスパッタ膜の変態温度
会議名日本金属学会2004年度秋期大会
発表年2004
言語Japanese
外部での文献参照

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