PLD法によるZnO薄膜成長における単結晶ターゲットの効果
(Effect of ZnO single crystalline target on ZnO thin film growth by pulsed laser deposition)
第59回応用物理学関係連合講演会. 2012.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:17:05 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:17:51 +0900