(110)配向ScN薄膜のヘテロエピタキシャル成長とその電気特性
(Heteroepitaxial growth and electric properties of (110)-oriented scandium nitride films)
STAC-10. 2017年08月01日-2017年08月03日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-06-06 22:35:55 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:09:28 +0900