SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 詳細

マイクロ電子ビーム蒸着法によるプラチナ蒸着の精密制御
(Precise control of Pt evaporation using the micro e-beam evaporator)

著者キム テヨン, 吉武 道子, 柳生 進二郎, ネムシャク スラボミール, 知京 豊裕.
会議名2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会
発表年2009
言語Japanese

▲ページトップへ移動