マイクロ電子ビーム蒸着法によるプラチナ蒸着の精密制御
(Precise control of Pt evaporation using the micro e-beam evaporator)
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:03:19 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:33:26 +0900