PLD 法におけるターゲット作製時の原料及び成膜温度とLuBa2Cu3O7－δ薄膜のc 軸配向性との関係性
(Effect of raw materials during target preparation and deposition temperature on c-axis orientation of LuBCO thin film in PLD method Relationship between c-axis orientation of LuBa2Cu3O7－δthin films and raw materials during target preparation)
低温工学・超電導学会 九州・西日本支部. 2024-10-19.
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作成時刻: 2024-11-13 03:15:55 +0900 更新時刻: 2024-11-13 03:15:55 +0900