イオン注入法による酸化亜鉛薄膜中の欠陥生成
(Defect formation in ZnO thin film by ion implantation)
日本セラミックス協会年会. 2005.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:11:50 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:16:00 +0900