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Improved transport properties of microcrystalline silicon films grown by HWCVD with a variable hydrogen dilution process
(HWCVD法によりシランの水素希釈率を変化させて作製した微結晶シリコン膜におけるキャリア輸送特性の向上)

4th International Conference on Hot-Wire CVD(Cat-CVD) Process. 2006年10月04日-2006年10月08日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2022-09-05 11:54:05 +0900更新時刻: 2022-09-05 11:54:05 +0900

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