MBE法で作製したScN薄膜の電気特性
(Electric Properties of ScN Films Deposited by Molecular Beam Epitaxy)
STAC-6. 2012年06月26日-2012年06月28日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:53:33 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:22:10 +0900