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(001) β-Ga2O3基板に対するHClガスエッチングの温度とHCl分圧依存性
(Temperature and HCl partial pressure dependences of HCl gas etching for (001) β-Ga2O3 substrates)
第84回応用物理学会 秋季学術講演会. September 19, 2023-September 23, 2023.
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Created at: 2023-09-26 03:16:26 +0900 Updated at: 2023-09-26 03:16:26 +0900