マグネトロンスパッタを用いた酸化銅コーティング薄膜の作製と摩擦力の荷重依存性および耐摩耗性
(Synthesis of CuO films by magnetron sputter coating and analysis of their frictional property and wear resistance.)
第44回 真空に関する連合講演会. 2003年11月12日-2003年11月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 03:32:29 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:46:38 +0900