内部応力をトリガーとした基板表面上への窒化ホウ素ナノ凝集体の作製とマイクロトライボロジー特性
(Generation and micro-tribological property of nano aggregates of boron nitride on a substrate by the force of internal stress.)
第43回真空に関する連合講演会. 2002年10月16日-2002年10月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:44:40 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:28:30 +0900