Si (100)基板上へのWurtzite (11 0) AlNエピタキシャル薄膜の断面TEMによる構造解析
(Epitaxial wurtzite (11 0) AlN thin film on Si (100) substrates by TEM observation)
第63回応用物理学会学術講演会. 2002年09月24日-2002年09月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:55:34 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:31:13 +0900