コンビナトリアルスパッタコーティング法で作製したTiN薄膜の熱電特性
(Thermoelectric conversion properties of TiN thin films synthesized by combinatorial sputter coating method)
第11回日本熱電学会学術講演会（TSJ2014）. 2014.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 03:26:15 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:59:23 +0900