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著者名佐々木 道子, 後藤 真宏, 森 孝雄.
タイトルコンビナトリアルスパッタコーティング法で作製したTiN薄膜の熱電特性
(Thermoelectric conversion properties of TiN thin films synthesized by combinatorial sputter coating method)
会議名第11回日本熱電学会学術講演会(TSJ2014)
発表年2014
言語Japanese
外部での文献参照

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