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コンビナトリアルスパッタコーティング法で作製したTiN薄膜の熱電特性
(Thermoelectric conversion properties of TiN thin films synthesized by combinatorial sputter coating method)
第11回日本熱電学会学術講演会（TSJ2014）. 2014.
NIMS author(s)
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Created at: 2017-01-08 03:26:15 +0900Updated at: 2017-07-10 21:59:23 +0900