微細加工技術を用いた薄膜型熱電デバイスの開発 |

微細加工技術を用いた薄膜型熱電デバイスの開発
(Development of thin-film-based in-plane π-type thermoelectric devices by microfabrication)

著者	大久保勇男, 村田正行, 大井暁彦, Mariana S. L. Lima, 櫻井岳暁, 相澤俊, 森孝雄.
会議名	第70回応用物理学会春季学術講演会
発表年	2023
言語	Japanese