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微細加工技術を用いた薄膜型熱電デバイスの開発
(Development of thin-film-based in-plane π-type thermoelectric devices by microfabrication)

大久保 勇男, 村田正行, 大井 暁彦, Mariana S. L. Lima, 櫻井岳暁, 相澤 俊, 森 孝雄.
第70回 応用物理学会 春季学術講演会. 2023.

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    作成時刻: 2023-03-21 03:32:49 +0900更新時刻: 2023-03-21 03:32:49 +0900

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