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著者名Makoto Itoh, Takeshi Uda, OHNO, Takahisa.
タイトルAtomistic Simulation of SiC Growth at the SiC(0001)/Si1-xCx Interface by the Monte Carlo Method
会議名The 8th European Conference on Silicon Carbide and Related Mater
発表年2010
言語English
外部での文献参照

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