レーザプラズマ同期法による新規半導体sp3-結合性BN薄膜とその機能性
(New semiconducting BN films with sp3-bonded polytypic structures and functional morphologies prepared by laser-plasma synergetic deposition methods)
ICNC 2011. 2011. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:15:20 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:43:14 +0900