バイモルフ型Ti-Ni形状記憶合金薄膜アクチュエータの動作特性
(Deformation Behavior of Bimorph type microactuator with Ti-Ni Shape Memory Thin Film)
日本金属学会２０００年秋期大会. 2000年10月01日-2000年10月03日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:00:40 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:06:03 +0900