イオン注入と低温熱酸化によるSiO2中に埋め込まれたZnOナノ粒子の形成
(ZnO Nanoparticles “Embedded” in SiO2 Fabricated by Ion Implantation and Low Temperature Oxidation)
第17回MRS-J学術シンポジウム 国際セッション. 2006.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:55:01 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:44:54 +0900