SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 詳細

DEVELOPMENT OF REMOTE-TYPE HYDROGEN RADICAL GENERATOR TO DECOMPOSE SiCl4 SOURCE IN ATMOSPHERIC PRESSURE

著者角谷 正友, ダーマン ファティマ ゾーラ, 岡本 裕二, 堤 大耀, 鈴木義和, 鯉沼 秀臣.
会議名Tunisia-Japan Symposium
発表年2014
言語Japanese

▲ページトップへ移動