SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 詳細

口頭発表の表示

著者名山下 良之.
タイトルデバイス動作下硬X線光電子分光法による半導体素子の界面評価
(Bias Voltage Dependent Interface Properties Obtained from Hard X-Ray Photoelectron Spectroscopy under Device Operation)
会議名ゲートスタック研究会―材料・プロセス・評価の物理―
発表年2015
言語Japanese
外部での文献参照

▲ページトップへ移動