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著者名安田哲二, 宮田典幸, 大竹 晃浩.
タイトルHigh-k/III-V界面制御に向けたモニタリング法の検討:反射率差分光(RDS)の適用可能性
(Monitoring Technique for Controlling High-k/III-V Interfaces: Applicability of Reflectance Difference Spectroscopy (RDS))
会議名第54回応用物理学関係連合講演会
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

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