High-k/III-V界面制御に向けたモニタリング法の検討：反射率差分光(RDS)の適用可能性
(Monitoring Technique for Controlling High-k/III-V Interfaces: Applicability of Reflectance Difference Spectroscopy (RDS))
第54回応用物理学関係連合講演会. 2007年03月27日-2007年03月30日.
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作成時刻: 2017-02-14 11:44:31 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:57:15 +0900