HOME > Presentation > Detail
コンビナトリアルスパッタコーティングシステムを用いた酸化タングステン薄膜の作製
日本金属学会2005年秋期大会. September 28, 2005-September 30, 2005.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-01-08 05:31:19 +0900 Updated at: 2017-07-10 19:23:46 +0900