HOME > 口頭発表 > 書誌詳細コンビナトリアルスパッタコーティングシステムの自動化とそれを用いたTiBNコーティングの作製後藤 真宏, 笠原 章, 土佐 正弘. 第48回 真空に関する連合講演会講演募集. 2007.NIMS著者後藤 真宏笠原 章土佐 正弘Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-02-14 10:55:25 +0900 更新時刻 :2017-07-10 20:05:37 +0900