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レーザー加熱MOCVD法によるZnO薄膜の光学・電気特性向上
(Improving properties of ZnO film grown by temperature modulated MOCVD)

著者角谷 正友, 藤本 英司, 渡邊 賢司, 伊藤 清太郎, 鯉沼 秀臣.
会議名2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会
発表年2009
言語Japanese

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