(Combinatorial Materials Exploration for Gate Stack Structures of Metal Gate Electrodes and High-κ Dielectric Films)
NIMS-MPI-MF workshop. 2005年07月25日-2005年07月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-25 00:59:40 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:23:40 +0900