大電流負イオンと電子ビーム蒸着を用いたダイナミックミキシング法による薄膜生成
(Thin Film Deposition by a Dynamic Mixing Method Using High-Current Negative Ions and Electron Beam Evaporation)
第60回応用物理学会学術講演会. 1999年09月01日-1999年09月04日.
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作成時刻: 2017-02-18 01:45:56 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:57:56 +0900